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產(chǎn)品類別:精密半導體清洗設備
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產(chǎn)品功能:
◆設備烘干,然結一體化結構緊湊合理,符合半導體制造標準。
◆穩(wěn)定可靠的工藝溫度控制系統(tǒng)(采用英國WEST溫度控制器)。
◆采用美國進口加熱燈管加熱。
◆采用先進的文氏排氣系統(tǒng),從而保證了有害氣體的不泄露。
◆設備控制采用工業(yè)控制機統(tǒng)一控制。
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